TOTO는 반도체를 붙잡는 받침대도 만든다 [기업해부사전 17화]
변기 박물관에 반도체 부품이 놓여 있습니다. 일본 기타큐슈의 TOTO(일본 종목코드 5332) 뮤지엄입니다. 옛 수세식 변기와 식기를 전시하는 이곳에는 정전척이라는 둥근 부품도 있습니다. 반도체의 바탕이 되는 얇은 실리콘 판, 웨이퍼를 붙잡는 받침대입니다.
2025년 개관 10주년을 맞은 박물관은 파인세라믹 전시를 넓히고 영상과 설명을 보탰습니다. 변기 회사의 역사 한쪽에 반도체가 자리 잡은 이유가 있습니다. TOTO가 오랫동안 다뤄 온 것은 변기의 모양만이 아니라 재료를 굽고, 원하는 성질을 내고, 불량을 찾아내는 일이었기 때문입니다. 그 기술을 사는 고객이 화장실 밖에도 생겼습니다.
얇은 판을 붙잡는 받침대가 온도까지 맡는다
반도체 회로를 만드는 장비 안에는 웨이퍼가 들어갑니다. 필요한 부분을 남기고 나머지를 깎아 내는 식각 공정에서도 이 판을 제자리에 고정해야 합니다. TOTO의 정전척은 전기적인 힘으로 웨이퍼를 붙잡습니다. 제품 이름의 ‘척’은 가공할 대상을 고정하는 장치를 가리킵니다.
붙잡는 힘만 세다고 일이 끝나지는 않습니다. 장비 안에서는 플라즈마를 이용해 재료를 가공합니다. 그 환경을 견디면서 웨이퍼 뒤쪽에 미세한 입자가 묻는 일도 줄여야 합니다. TOTO는 플라즈마에 잘 견디는 알루미나 계열 재료와 정밀 가공을 정전척에 씁니다. 겉으로 둥글고 매끈해 보이는 부품에 재료 선택과 가공 조건이 함께 들어갑니다.
이 받침대는 온도와도 연결됩니다. TOTO는 세라믹 부품에 히터와 냉각 재킷을 함께 구성해 공급할 수 있습니다. 열이 어떻게 흐르고, 온도가 달라질 때 부품에 어떤 힘이 걸리는지 분석해 고객이 요구하는 웨이퍼 온도 조건에 맞춥니다. 고객이 사는 것은 원판 모양의 도자기 한 장보다 훨씬 복잡합니다. 자기 장비 안에서 고정과 열 관리를 함께 맡길 수 있는 부품입니다.
여기서 거래의 순서가 보입니다. TOTO는 반도체 제조장비에 들어갈 부품을 공급하고, 장비 업체는 그 부품을 포함한 설비를 반도체 제조 현장에 보냅니다. 부품을 파는 TOTO, 장비를 만드는 회사, 그 장비로 반도체를 생산하는 회사의 일이 이어집니다. 스마트폰을 산 소비자가 TOTO라는 이름을 보지 못해도, 그보다 앞선 제조 단계에는 이 회사의 세라믹이 들어갈 자리가 있습니다.
이번에는 도자기를 굽지 않고 장비 안에 얇게 입힌다
웨이퍼를 단단히 붙잡아도 장비 안에서 다른 문제가 생길 수 있습니다. 반도체 제조에서는 미세한 먼지가 큰 방해물입니다. 가공 환경에 노출되는 장비 부품 자체에서도 입자가 생길 수 있어, 표면이 얼마나 잘 견디는지가 중요합니다. TOTO가 파는 또 다른 제품은 이 표면을 보호하는 세라믹 막입니다.
AD막은 세라믹 가루를 기체에 섞어 빠르게 쏘아 표면에 부딪치게 하는 방식으로 만듭니다. 입자가 충돌하면서 치밀한 막을 형성합니다. 이미 만든 물건의 표면에 상온에서 막을 입히므로, 완성될 부품 전체를 다시 가마에 넣어 굽는 방식과 다릅니다. 도자기를 오래 만든 회사가 굽지 않고 세라믹 층을 만드는 기술까지 다루게 된 겁니다.
TOTO의 산화이트륨 계열 AD막은 반도체 장비 내부 부품에 쓰입니다. 플라즈마에 의한 부식을 억제하고, 그 과정에서 생기는 미세 입자를 줄이는 역할입니다. 금속이나 석영, 세라믹 등 여러 바탕 재료에 입힐 수 있어 쓰임도 둥근 받침대 하나에 갇히지 않습니다.
정전척과 AD막을 함께 놓으면 이 사업이 선명해집니다. 하나는 가공할 웨이퍼를 고정하고 온도를 다루며, 다른 하나는 가공 공간 안의 부품 표면을 보호합니다. 반도체를 직접 만드는 회사는 아니어도, 반도체를 만들 때 흔들리거나 더러워지면 안 되는 곳에 제품을 팝니다. 변기 옆에 반도체 부품을 늘어놓은 이색 전시보다, 실제 고객의 제조 문제에 훨씬 가까운 사업입니다.
오래 쌓은 기술을 매번 같은 품질로 납품하는 일
TOTO가 파인세라믹 연구에 본격적으로 들어간 해는 1976년입니다. 최근 AI 붐을 보고 갑자기 변기 공장 옆에 붙인 사업이 아닙니다. 위생도기를 만들며 쌓은 기술과 지식을 다른 용도의 세라믹으로 넓혀 왔습니다. 도자기를 다뤄 본 경험은 출발점이지만, 반도체 장비 고객을 만나려면 그 고객이 요구하는 정밀도와 내구성을 다시 맞춰야 합니다.
특히 한 번 잘 만든 부품을 보여 주는 것과, 주문받은 부품을 계속 같은 품질로 보내는 것은 다른 일입니다. 정전척은 제조에 시간이 오래 걸리고 공정 조건이 어긋나면 결함이 생기기 쉽습니다. TOTO는 제조 데이터를 한곳에 모아 조건을 지속적으로 살피고, 이상이 생겼을 때 빠르게 바로잡는 체계를 만들었습니다. 원료를 섞는 단계부터 출하까지 이어지는 품질 정보를 수집하고 관리합니다.
생산 현장도 바뀌었습니다. TOTO 파인세라믹스의 일본 나카쓰 공장 4동은 2019년 1월 착공해 2020년 10월 본격 가동했습니다. 정전척 생산성을 높이기 위해 사물인터넷과 AI 기술을 도입하는 공장입니다. 오래 축적한 재료 기술 위에, 공정 상태를 읽고 관리하는 생산 체계를 얹은 것입니다.
이 투자는 고객과의 거래를 이해하는 단서입니다. 장비 업체가 필요한 시기에 일정한 품질의 부품을 받으려면 공급자도 그 주문을 반복해 감당할 수 있어야 합니다. 신제품을 개발하는 연구실과 납기를 지키는 공장은 한 거래의 서로 다른 조건을 맡습니다. TOTO가 반도체 부품을 사업으로 키우는 과정에서는 새로운 소재를 찾는 일뿐 아니라, 이미 만든 기술을 안정적으로 생산하는 일에도 돈이 들어갔습니다.
새 장비를 만들 때도, 쓰던 장비를 돌릴 때도
고객이 돈을 내는 시점은 새 공장을 지을 때만 생기지 않습니다. 새 제조장비에 들어갈 정전척 수요가 있고, 가동 중인 장비에서 쓰던 부품을 교체하는 수요도 있습니다. 새 장비가 얼마나 늘어나는지와 이미 설치된 장비가 얼마나 가동되는지는 부품 공급자에게 서로 다른 경로로 연결됩니다.
TOTO의 정전척은 주로 NAND 플래시메모리 제조장비에 사용됩니다. 전원을 꺼도 데이터를 보관하는 메모리입니다. 저장할 데이터가 늘어나는 흐름은 이 사업의 고객 시장을 넓힐 수 있습니다. 실제 부품 주문은 메모리 업체의 투자와 장비 가동을 거쳐 들어옵니다. AI 서비스 이용자가 늘어난 수만큼 TOTO 매출이 곧바로 늘어나는 구조는 아닙니다.
사업의 크기를 과거 실적으로 보면, 2024회계연도 첨단세라믹 사업 매출은 503억 엔, 영업이익은 204억 엔이었습니다. 매출은 전년보다 38% 늘었습니다. 두 금액으로 계산한 영업이익률은 약 40.6%입니다. 변기 회사의 옆 사업이라고 가볍게 넘기기 어려운 숫자지만, 첨단세라믹 사업 전체의 당시 실적입니다. 정전척 한 개의 원가나 모든 주문의 이익률을 보여주는 수치는 아닙니다.
이 사업을 읽을 때는 기술의 수명과 주문의 리듬을 나눠 볼 수 있습니다. 장비 안에서 고정·열·오염을 다루는 문제는 계속 남아도, 고객이 새 장비를 사는 속도와 기존 장비를 돌리는 정도는 달라집니다. 새 부품과 교체 부품을 함께 공급하는 구조는 매출이 생기는 길을 넓혀 줍니다. 경기의 흔들림까지 없애 주지는 않습니다.
반도체에서 찾은 결함의 단서가 변기 공장으로 돌아온다
첨단세라믹을 화장실 사업과 완전히 떨어진 별개 회사처럼 보면 마지막 연결을 놓칩니다. TOTO의 지가사키 공장에는 첨단세라믹 연구개발 조직과 종합연구소가 있습니다. 이곳의 분석 역량은 그룹 제품을 만드는 과정에서 생기는 품질 문제를 푸는 데도 쓰입니다. 세라믹 제품의 결함을 일찍 찾고, 원인을 분석하고, 해결하는 일입니다.
고객은 갈라졌지만 재료를 이해하는 조직은 다시 만납니다. 화장실 제품에서 쌓은 지식이 반도체 부품으로 건너가고, 더 까다로운 부품을 분석하는 역량은 그룹의 제조 문제로 돌아옵니다. TOTO의 확장은 변기를 버리고 새 유행으로 갈아탄 이야기가 아닙니다. 오래 다룬 재료에 다른 고객의 요구를 더하고, 그 요구를 감당하려고 공장과 연구 방식까지 바꾼 이야기입니다.
집에서는 완성된 변기로 보이고, 반도체 장비 안에서는 웨이퍼 아래의 부품이나 얇은 보호막으로 보입니다. 같은 회사가 물건의 전혀 다른 크기와 위치에서 일합니다. 소비자가 알아보는 제품의 모양보다, 그 제품을 제대로 만들기 위해 익힌 일이 더 멀리 팔려 나간 것입니다.
자료: TOTO 뮤지엄 10주년 자료(2025.8.28), 정전척 제품 설명, AD막 제품 설명, TOTO 파인세라믹스 제품 안내, 2021 통합보고서, 2024 통합보고서, 2025 통합보고서.
자료 확인일 2026년 9월 23일. 실적은 본문에 적은 회계연도 기준이며, 사업 구조에 대한 해석은 공개 자료에 근거합니다. 제품 효과는 적용 조건에 따라 달라지며 특정 종목의 매매를 권하지 않습니다.
TOTO, 5332, 토토, 정전척, 반도체장비, 파인세라믹, 세라믹, 웨이퍼, AD막, 나카쓰공장, 기업해부사전, 받침대
